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優(yōu)質(zhì)p型氧化鋅薄膜在中國制備完成

點(diǎn)擊次數(shù):54320 更新時間:2014-08-22 00:52:27?? ??來源:http://www.wcnanke.com/ 【關(guān)閉
中國科學(xué)院上海硅酸鹽所高性能陶瓷和超微結(jié)構(gòu)國家重點(diǎn)實驗室李效民研究員帶領(lǐng)的課題組經(jīng)過近2年的努力,日前在p型氧化鋅薄膜及一維氧化鋅納米結(jié)構(gòu)研究中取得重要進(jìn)展,相關(guān)的研究成果已在美國《應(yīng)用物理通訊》雜志上發(fā)表。
    
    平板顯示技術(shù)是信息時代對終端顯示的基本要求,目前主要的平板顯示技術(shù)有液晶、等離子體、熒光管和發(fā)光二極管。發(fā)光二極管作為平板顯示屏具有驅(qū)動電壓低,可與集成電路匹配,使用安全,可多色顯示,壽命長和響應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn),是一種理想的平板顯示器件,在科學(xué)儀器、交通信號、便攜式微機(jī)、航空航天和軍事等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。目前單色顯示的紅色和綠色LED顯示器件已有商品問世,但彩色顯示器至今未商品化,其主要原因是藍(lán)色電致發(fā)光的亮度或色純度達(dá)不到實用水平,無法利用三基色實現(xiàn)彩色顯示。氧化鋅是一種新型的Ⅱ-Ⅵ族直接帶隙寬禁帶化合物半導(dǎo)體材料,具有優(yōu)異的光學(xué)和電學(xué)特性,具備了發(fā)射藍(lán)光或近紫外光的優(yōu)越條件,有望開發(fā)出紫外、綠光、藍(lán)光等多種發(fā)光器件。實現(xiàn)氧化鋅基光電器件的關(guān)鍵技術(shù)是制備出優(yōu)質(zhì)的p型氧化鋅薄膜。本征氧化鋅是一種n型半導(dǎo)體,必須通過受主摻雜才能實現(xiàn)p型轉(zhuǎn)變。但是由于氧化鋅中存在較多本征施主缺陷,對受主摻雜產(chǎn)生高度自補(bǔ)償作用,并且受主雜質(zhì)固溶度很低,難以實現(xiàn)p型轉(zhuǎn)變,導(dǎo)致無法制得半導(dǎo)體器件的核心——氧化鋅p-n結(jié)結(jié)構(gòu),極大地限制了氧化鋅基光電器件的開發(fā)應(yīng)用。目前,p型氧化鋅的研究已成為國際上的研究熱點(diǎn)。
    
    該課題組采用常壓超聲噴霧熱解法、通過氮和銦共摻雜,成功地制備出p型氧化鋅薄膜,其電學(xué)性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過國際上的最好水平(電阻率降低了2個數(shù)量級,霍爾遷移率提高了2~3個數(shù)量級)。在此基礎(chǔ)上,又制備出具有p-氧化鋅/n-氧化鋅雙層結(jié)構(gòu)的氧化鋅同質(zhì)p-n結(jié)。這是首次用簡單易行的方法制備出性能優(yōu)異的p型氧化鋅薄膜及氧化鋅同質(zhì)p-n結(jié)。這些研究成果對于深入研究氧化鋅薄膜晶體生長和摻雜機(jī)理、試制新型氧化鋅短波長發(fā)光器件、拓寬氧化鋅薄膜應(yīng)用領(lǐng)域等方面具有重要意義?;钚匝趸\
活性氧化鋅    
    同時,由于氧化鋅一維納米材料具有許多特異的物理、化學(xué)特性,在構(gòu)建納米電子和光學(xué)器件方面具有巨大的應(yīng)用潛力,受到廣泛的關(guān)注。該課題組通過對汽相傳輸法制備高純度、復(fù)雜形狀一維氧化鋅納米材料的研究,自組裝成直徑小于60納米、尺度分布均勻、具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的一維氧化鋅納米棒,并且實現(xiàn)了對其同質(zhì)催化和縱向排列的定向控制。其中,四腳狀氧化鋅納米結(jié)構(gòu)的研究已達(dá)到國際先進(jìn)水平實現(xiàn)了對其同質(zhì)催化控制和縱向排列的定向控制。
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